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感知技术
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传感半导体材料制备技术

 
  因士科技自主核心的传感半导体材料技术,使其为全球首个实现超低功耗(微瓦级别功耗)的VOCs气体传感器量产的公司。
基于因士科技自主研发的碳纳米管半导体气敏材料,通过表面功能化实现了多种功能化碳纳米管气敏材料的研发。将碳纳米管桥架在叉指电极(3um叉指间距)之间,修饰材料均匀附在表面,即可实现对VOC气体高灵敏响应。不同的修饰材料决定对不同VOC特征污染的响应,结合在一起,进一步提高了传感器的灵敏度、选择性和稳定性。与传统气体传感器比较而言,该系列传感器具有微功耗、微尺寸、低成本、高稳定、抗干扰等优良特性,目前已具有批量生产能力。
 
因士环保
 
因士科技基于CNT的气敏材料传感器
 
  目前针对这些传感材料技术,因士科技已经自主研发实现了多类超低功耗VOCs气体传感芯片,包括苯系物VOCs气体专用感知芯片、C9-12类VOCs气体感知芯片、油气类VOCs气体感知芯片、卤代烃类VOCs气体专用感知芯片和通用型VOCs气体感知芯片。具体如下图所示:
 
因士环保
 
因士科技自主研发的气体传感类别